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半导体晶圆在切割时产生的硅粉如何处理
发布网友
发布时间:2022-04-19 09:48
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2
个回答
热心网友
时间:2023-08-27 10:00
湿制程切割晶圆后在滤水芯中回收硅粉再利用;
干制程则用逆渗透粉尘机回收,两种回收都可以加入拉晶圆时的材料再用,目前少用干制程,
热心网友
时间:2023-08-27 10:00
我前一个单位是切割的时候纯水里加了切割液,切割完成后直接纯水清洗的,当然了切割液的浓度会根据晶圆的厚度和尺寸作调整。没刻意去处理切割下产生的硅粉。
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