真空镀膜机的结构原理

发布网友发布时间：2022-04-20 02:27

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热心网友时间：2023-07-19 03:03

一、电控柜的操作 1. 开水泵、气源 2. 开总电源 3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子*电源。二、DEF-6B电子*电源柜的操作 1. 总电源 2. 同时开电子*控制Ⅰ和电子*控制Ⅱ电源：按电子*控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。三、关机顺序 1. 关高真空表头、关分子泵。 2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 3. 到50以下时，再关维持泵。

热心网友时间：2023-07-19 03:03

主要分4部分，真空机组，真空箱体，蒸发系统，控制系统。
机组可分为：低真空、高真空，罗茨泵机组，扩散泵机组，分子泵机组，低温泵机组等
蒸发分为：电子束蒸发，电阻加热蒸发，磁控溅射蒸发，多弧蒸发

热心网友时间：2023-07-19 03:04

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真空镀膜机的结构原理